網版檢修一體機(AOI)
SI-V8 系列檢查機
功能與特點
-專為微電子網版開發，AOI缺陷自動偵測
-高強度機身結構及超高精度線軌，重複定位精度<4μm，掃描穩定
-採用進口高解析度工業相機2.4μm位元，且可按需求定製
-快速影像處理系統，100sec/0.04㎡/2.36μm (依據解析度)
-AI智慧學習功能，依據客戶標準逐步降低漏檢、誤檢
≥5um或者10um以上的缺陷漏檢率：≤1%
(未知缺陷不做考評)
假點誤判率：單次檢測的假點總數目大於100個的概率事件≤20%
-三種模式檢驗：CAM資料對比+AI深度學習+盲檢演算法
-檢修一體，鐳射定位，缺陷圖像自動對焦放大，實現邊檢邊修，並可搭配多台線上網版返修機，資料互聯，實現檢修分離，高效作業
-遠端升級，實現遠端及時服務回應
-專為微電子網版開發，AOI缺陷自動偵測
-高強度機身結構及超高精度線軌，重複定位精度<4μm，掃描穩定
-採用進口高解析度工業相機2.4μm位元，且可按需求定製
-快速影像處理系統，100sec/0.04㎡/2.36μm (依據解析度)
-AI智慧學習功能，依據客戶標準逐步降低漏檢、誤檢
≥5um或者10um以上的缺陷漏檢率：≤1%
(未知缺陷不做考評)
假點誤判率：單次檢測的假點總數目大於100個的概率事件≤20%
-三種模式檢驗：CAM資料對比+AI深度學習+盲檢演算法
-檢修一體，鐳射定位，缺陷圖像自動對焦放大，實現邊檢邊修，並可搭配多台線上網版返修機，資料互聯，實現檢修分離，高效作業
-遠端升級，實現遠端及時服務回應